１ 調達内容 品目分類番号 24 導入計画物品及び数量 自律自動超高真空 スパッタ成膜装置 一式 調達方法 購入等 導入予定時期 令和９年４月以降 調達に必要とされる基本的な要求要件 斜膜厚成膜が可能となるよう、リニア

官報掲載機関(調達機関番号415)（宮城県）／官報政府調達 / 資料提供招請に関する公表 新着

案件の詳細

〇第８号 １ 調達内容  品目分類番号 24  導入計画物品及び数量 自律自動超高真空 スパッタ成膜装置 一式  調達方法 購入等  導入予定時期 令和９年４月以降  調達に必要とされる基本的な要求要件 斜膜厚成膜が可能となるよう、リニア シャッターを有していること。リニア シャッターは基板下シャッターとの干渉 がないようになっていること。 ｆ マニピュレーター：面内回転、上下、 加熱、冷却の各機能を有していること。 Ｂ ＳＴＭ（走査型トンネル顕微鏡）チャン バー 一式 ａ 主排気系：ターボ分子ポンプ＋ロータ リーポンプとなっており、ターボ分子は ｂ 到達真空度：５×10̶７Ｐａ以下の圧力 となっていること。 ｃ ＳＴＭ：ボルトオンタイプのＳＴＭを チャンバーに接続すること。また必要に 応じて除震対策を行うこと。 Ｃ 同時スパッタチャンバー 一式 ａ 主排気系：ターボ分子ポンプ＋ロータ リーポンプとなっており、ターボ分子は 水冷方式であること。 ｂ 到達真空度：１×10̶５Ｐａ以下の圧力 となっていること。 ｃ カソード：ＤＣ方式、ＲＦ方式および その併用が可能で、少なくとも４元同時 ｅ ロボットには、昇降・旋回・伸縮の機 能があり、ティーチング機能により接続 された各室間で試料ホルダーの自動搬送 及びマニピュレーター（ある室の場合） への設置・回収が可能となっているこ と。 Ｅ ロードロックチャンバー 一式 ａ 主排気系：ターボ分子ポンプ＋ロータ リーポンプとなっており、ターボ分子は 水冷方式であること。 ｂ 到達真空度：１×10̶４Ｐａ以下の圧力 となっていること。 ｃ サンプルストッカー：φ２インチ基板 用のサンプルホルダーを５個以上収納可 能なこと。 ａ 数量：各種基本動作・インターロック 機能を有するＰＬＣ内蔵排気コントロー ラー 一台、ＰＣ 一台を有すること。 ｂ ロボットによる試料ホルダーの自動搬 送、リボルバー式10元スパッタチャン バー、同時スパッタ室、ロードロックチャ ンバーの真空排気・成膜・基板加熱・基 板冷却等に関する操作については全て制 御用ＰＣからの制御が可能となっている こと。 ２ 資料及びコメントの提供方法 上記１の物 品に関する一般的な参考資料及び同の要求要 件等に関するコメント並びに提供可能なライブ ラリーに関する資料等の提供を招請する。  資料等の提供期限 令和８年12月14日17時 水冷方式であること。 Ｆ 制御系ＰＣ・ＰＬＣ 一式 Ａ リボルバー式10元スパッタチャンバー スパッタが可能なこと。 一式 Ｄ トランスファーチャンバー 一式 00分（郵送の場合は必着のこと。） ａ 主排気系：ターボ分子ポンプ＋ロータ ａ 各部屋間のロボットによる試料ホル リーポンプとなっており、ターボ分子は ダーの真空中搬送を行う中核チャンバー 水冷方式であること。 であること。 ｂ 到達真空度：５×10̶７Ｐａ以下の圧力 ｂ 最大４チャンバー以上の接続が可能な となっていること。 接続ポートを有していること。 ｃ ターゲット数：真空を破ることなく、 ｃ 排気系：ターボ分子ポンプとロータ 10個のターゲットが利用可能であるこ リーポンプの組み合わせとなっており、 と。 ターボ分子ポンプは水冷・磁気浮上型で ｄ カソード：ＤＣ方式、ＲＦ方式および あること。 その併用が可能で、基板面に対して垂直 ｄ 到達真空度：１×10̶６Ｐａ以下の圧力 入射配置での成膜が可能であること。カ となっていること。  提供先 〒9808577 仙台市青葉区片平 ２１１ 東北大学財務部調達課調達第一 係長 河村 紘明 電話0222174869 ３ 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給 者に対して導入説明書を交付する。  交付期間 令和８年11月11日から令和８年 12月14日まで。  交付場所 本公告の日から東北大学財務部 調達課ホームページ （https://www.bureau.tohoku.ac.jp/keiyaku/ kouhyou/）において、電子ファイルにて交 付する。  ４ 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を ｂ Base pressure : A vacuum is better Ｆ Controlling computer and programm‑ ４ 仕様書案の説明会 開催する。  開催日時 令和８年11月20日15時00分  開催場所 オンライン開催とする。（詳細 は、導入説明書による。） ５ その他 この導入計画の詳細は導入説明書に よる。なお、本公表内容は予定であり、変更す ることがあり得る。 ６ Summary  Classification of the products to be pro‑ cured : 24  Nature and quantity of the products to be purchased : Autonomous Ultrahigh Vacu‑ um Sputtering Growth System 1 Set  Type of the procurement : Purchase  Basic requirements of the procurement : Ａ Ultrahigh vacuum sputtering system with revolving 10 targets 1 unit ａ Main vacuum system : A combina‑ tion of a water‑cooled turbo molecular and rotary pumps is used. ｂ Base pressure : A vacuum is better than 1×10−7 Pa. ｃ Targets : 10 targets can be replaced on a revolving holder without breaking a vacuum. ｄ Sputtering cathode : DC, RF and both operation is possible. The sputter‑ ing incident is perpendicular to the plane. The number of cathodes is one, of which targets can be exchanged wit‑ hout breaking a vacuum in 1 min. ｅ Linear shutter : To grow a wedged film, a linear shutter is installed with‑ out conflicting with the substrate shut‑ ter. ｆ Manipulator : A manipulator has the following functionality ; in‑plane rota‑ tion, vertical motion, substrate heating and substrate cooling. ) 号    第 達 調 府 政 外 号 ( 報 官 日 曜 水 日   月   年  和 令   than 1×10−7 Pa. ｃ STM : STM is installed to the cham‑ ber by bolts with necessary anti‑ vibration. Ｃ Ultrahigh vacuum chamber for co‑ sputtering 1 unit ａ Main vacuum system : A combina‑ tion of a water‑cooled turbo molecular and rotary pumps is used. ｂ Base pressure : A vacuum is better than 1×10−5 Pa which is measured by a wide‑range vacuum gauge. ｃ Sputtering cathode : DC, RF and both operation is possible. At least four of the cathodes are installed for co‑ sputtering at the same time. Ｄ Transfer chamber 1 unit ａ The central chamber that performs vacuum transport of sample holders be‑ tween rooms using a robot. ｂ The chamber needs to hold over 4 connecting ports to chambers including the abovementioned ones. ｃ Vacuum system : A combination of a water‑cooled turbo molecular with magnetic levitation and rotary pumps is used. ｄ Base pressure : A vacuum is better than 1×10−6 Pa. ｅ Autonomous transfer system has el‑ evation, rotation and extension func‑ tions. By teaching, autonomous trans‑ fer and manipulation can be achieved among the connected chambers. able logic controller 1 unit ａ Components : One programmable logic controller for vacuum control with necessary functions and interlock, and one computer for general opera‑ tion. ｂ The following control needs to be achieved using the computer : Au‑ tonomous transfer of a substrate holder among chambers, vacuum, deposition, substrate heating and cooling in the abovementioned chambers.  Time limit for the submission of the re‑ 14 December, quested material : 17 : 00 2026  Contact point for the notice : Hiroaki Kawamura, Procurement Services Office, Finance Department, Tohoku University, 211 Katahira Aoba‑ku Sendai‑shi 9808577 Japan TEL 0222174869 意見招請に関する公示 次のとおり調達物品の仕様書案の作成が完了し たので、仕様書案に対する意見を招請します。 令和８年 11 月 11 日 文部科学省大臣官房会計課長 奥

出典

官報(政府調達) ／ 発注機関：官報掲載機関(調達機関番号415)

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